工厂低价出售3台刚下产线  日本光弛真空镀膜机

产品名：OTFC-1300DBI

型 式：1300DBI

产品参数：

 真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H) 

工件架  Ф1130mm 

工件架转速 10rpm to 50rpm(可变) 

光学膜厚控制 350nm to 1100nm 反射式/透射式 

水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器 

蒸发源  电子枪2套  

离子源 17cmRF离子源 

排气系统 机械泵2个扩散泵Polycold（或2个冷凝泵） 

 性 能

达到压力 7.0×10-5Pa以下 

排气时间  15分（大气压～1.3×10-3Pa） 

基板温度 最高：350℃ 

工作条件

设备尺寸 约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)  

电源 3相,200v,50/60Hz, 约104KVA  

水流量 140升/分以上 

空气压力 0.5MPa以上  

重量 约9000kg   

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