真空镀膜机
- 编号：OTFC-1300
- 尺码：
- 颜色：
- 材质：OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置
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真空室尺寸：Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式 镀膜机
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
规格
| 设备名称 | OTFC-1800CBI/DBI |
| 真空室 | SUS304, φ1800mm×1920mm (H) |
| 工件架 | φ1600mm |
| 工件架转速 | 10rpm to 30rpm(可变) |
| 光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪 波长范围：350nm to 1100nm 反射式或透射式 |
| 石英晶振膜厚计 | XTC/3+6点式石英晶体传感器 |
| 蒸发源 | 电子枪2套 |
| 离子源 | 23cmRF离子源 |
| 排气系统 | 机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵） |
性能
| 达到压力 | 7.0×10-5 Pa 以下 |
| 排气时间 | 20分（大气压～1.3×10-3 Pa) |
| 基板温度 | 最高：350℃ |
工作条件
| 设备尺寸 | 约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H) |
| 电源 | 3相, 200V, 50/60Hz, 约150kVA |
| 水流量 | 180升/分以上 |
| 空气压力 | 0.5MPa以上 |
| 重量 | 约11200kg |
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